Edwards爱德华IL系列半导体干式真空泵维修保养

Edwards爱德华高级半导体干式真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
    Edwards 爱德华是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。

Edwards 爱德华iL系列干式泵的设计在干抽和很宽。世界上70000多台干泵的现场经验，iL系列泵现在是世界上有条300毫米的生产线。

Edwards 爱德华iL系列泵专为清洁应用而设计,如负载锁和传输室以及零功能氮消耗。

iL系列在世界晶圆制造厂证明需要零周期维护。iH和iL系列为全系列提供特定于半导体制造工艺应用程序的解决方案。

Edwards 爱德华iLN系列泵具有轴封氮气吹扫能力,适用于轻负荷应用，如介质蚀刻。

Edwards 爱德华iLN系列半导体干式真空泵产品型号：iL70、iL70+、iL70N、iL600、iL600+、iL600N、

Edwards 爱德华iLN系列半导体干式真空泵优点及特点：

低拥有成本、占地面积小

iL系列的设计特点是电力和氮气需求占地面积，节省宝贵的工厂占地面积。

大大减少了冷却水的使用要求。

泵可以堆叠以进一步减少占地面积小化。

iL系列需要在大修之间进行零维护，

消除了昂贵的定期维修和停机时间。

Edwards 爱德华iLN系列半导体干式真空泵应用：

负载锁定

传输室

PVD溅射

灰化/PR带

介电层蚀刻

植入物（梁/靶）

爱德华IL系列半导体干式真空泵维修保养

IL600:

IL70: