Edwards爱德华iH系列晶圆半导体干式真空泵维修保养

Edwards爱德华高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠xing。
iH 系列真空泵为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠xing。

Edwards爱德华iH 系列半导体干式真空泵产品型号：iH80 iH160 iH1000 iH1800

英国爱德华 Edwards半导体 iH80技术参数：

iH1800HTX技术参数：

英国爱德华 Edwards半导体 iH80应用行业：

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

爱德华iH系列晶圆半导体干式真空泵维修保养

英国爱德华 Edwards半导体 iH80产品功能和优势：

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定xing。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。