Edwards爱德华IXH系列半导体干式真空泵维修保养

Edwards爱德华高级干式半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和xing能。
  edwards iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠xing实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的完美大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有大可靠xing。

Edwards爱德华IXH系列半导体干式真空泵产品型号：

IXH100、 IXH200、 IXH200H、 IXH500H、 IXH500Q 、IXH610、 IXH645H、 IXH1210、 IXH1210H、 IXH1220H、 iXH1220HTX、iXH1820、 iXH1820T、iXH1820H、 iXH6045HT、IXH3030T、IXH3045H、IXH4545HT、,IXH4550、IXH3030,

爱德华IXH系列半导体干式真空泵维修保养

Edwards爱德华IXH系列半导体干式真空泵参数：