荷兰 HIGH VOLTAGE溅射潘宁离子源

HIGH VOLTAGE溅射潘宁离子源 MODEL SO-90

High Voltage溅射潘宁离子源 Model SO-90主要特点
 易于操作和维护
 低功耗
 使用寿命长
 近光灯发射
 高亮度

荷兰 HIGH VOLTAGE溅射潘宁离子源 一般描述
HVEE SO-90 型溅射潘宁离子源几乎可以电离所有熔点不太低的导电固体，包括那些蒸气压非常低的固体，如钨和钽。
在这个源中，阴极由要电离的元素制成。来自氩气或氖等离子体放电的正离子撞击阴极，并将所需的材料溅射到等离子体中。特殊的源几何形状导致等离子体中溅射材料的密度高，并且结合
溅射材料的沉积速率低。
每个 SO-90 离子源都包含满足第一需求的备件。

High Voltage Engineering Europa B.V. 提供的其他类型的 pening 离子源包括：
– SO-60 型冷阴极潘宁离子源 – SO-100 型热阴极潘宁离子源

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