美国Angstrom Sciences 圆柱形磁控溅射阴极

Angstrom Sciences 为几乎所有标准溅射工艺提供先进的磁控管。但我们知道，每个应用程序都是不同的。这就是为什么我们开发了一种模块化方法，专门适应您的规格。

圆柱形磁控管长期以来一直受到玻璃镀膜行业的信赖，可以在最大限度地提高目标利用率的同时创造均匀的薄膜。现在，Angstrom Sciences 创造了一种紧凑、轻便且经济的圆柱形磁控管，专门设计用于为平板显示器、太阳能电池和网络涂层应用提供这些相同的优势

定制设计

可使用直径为 3″ (75mm) 或 5″ (125mm) 的背管，长度可达 4 米，并且具有最小的源到源间距，可提供插入式和侧面安装的完整组件 多个串联阵列可用于紧凑型高通量生产系统。

经济且兼容的投资

ONYX-Revolution™ 采用通用且具有成本效益的磁铁设计和定制的周转，以适应任何目标类型。而且，它采用现成的组件设计，以实现低成本、长期投资和可靠性。

技术

Angstrom Sciences 的异形磁体技术在源和基板之间创建了更接近正常的沉积轮廓。改进的沉积轮廓减少了腔壁上的碎屑堆积。

此外，Angstrom Sciences 的磁体阵列提供更高的磁场强度，允许用户以更低的功率运行溅射工艺以实现典型的沉积速率。

转换储蓄

本质上，圆柱形磁控管可以容纳的目标材料量是具有相同空间面积的平面磁控管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 进一步优化了材料投资，目标利用率高达 85%。此外，在较低功率水平下运行可节省 20% 的典型功率。

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