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Nonsequitur 高能离子枪 离子源 真空 1450
Nonsequitur 高能离子枪 离子源 真空 1450
可调光斑尺寸 ≥ 5 微米，用于空间定义溅射或植入
发射调节轰击提供稳定的离子电流
连续可变的束流能量 5kV 至 50kV
用于束扫描和散光校正的双倍极
预目标扫描可缩小光斑尺寸
没有灯丝与样品的直接视线，以避免样品污染
客户可更换灯丝和光束微调孔
双灯丝可在灯丝寿命终止时提供运行备份
所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料均用于制造
差分泵送，最大限度地减少主室气体负荷
可在惰性气体和氮气范围内运行
参数信息
输入功率 115/230VAC 50/60Hz 自动选择
光束能量 0-50,000V，1mA
聚焦，冷凝器 0-40,000V，1mA
灯丝功率 发射调节，5V，最大 5A
电离 电子加速电压和发射软件可选
离子萃取 0-2500V 软件可选
偏转 +/-400VDV 电源，用于 +X、-Y、+Y 和 -Y。其余八极元件由电阻分压器网络供电。可选 8 通道偏转电源，具有散光校正和二次电子成像功能
联锁系统和辅助联锁
用户界面 基于 USB 的图形用户界面
机箱尺寸 483（宽）x 267（高）x 435（深）毫米。19 英寸机架式机箱，6U 高
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