美国 Nonsequitur 离子枪 真空 1403

美国 Nonsequitur 离子枪 真空 1403

高亮度电子冲击源，可最大限度地去除块状材料

发射调节轰击提供稳定的离子电流，前面板可调节动态范围 x300

可调光斑尺寸从 20 毫米到 > 1 毫米，用于空间定义溅射

连续可变的离子束能量，最高可达 5keV

利用光束弯曲光学器件抑制中性物质

用于 TOF SIMS 的光束消隐功能

集成的束流监测功能

可更换的光束微调孔径，典型使用寿命大于 500 小时

双灯丝提供操作备份，灯丝寿命一般大于 500 小时

内部离子源压力传感器可监测离子源压力

所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料均用于制造

预瞄准透镜偏转可缩小光斑尺寸

差分泵送，最大限度地减少主腔气体负荷

可在各种惰性气体范围内工作

参数信息

工作距离 35 毫米

中性物质抑制 3° 静电弯曲光学器件

光束能量 ≤ 5keV 连续可变

光栅尺寸 4 x 4 毫米（最小值）

安装法兰 70 毫米（2.75 英寸）外径 CF

差分泵 70 毫米（2.75 英寸）外径 CF

供气入口 34 毫米（1.33 英寸）外径 CF

源气体 He、Ne、Ar、Kr、Xe

烘烤温度 最高 150 °C

Duoplasmatron Duoplasmatron Equavalent Ion Guns Model 1402 Model 1403 TOF/SIMS Model 1403Cs - Cesium/Alkali Ions Model 1404 Model 1407 Model 1420 Model 1450 Nonsequitur SIMS 二次离子质谱 双等离子发射器 真空测试 真空系统 真空腔 真空表面化学实验 离子枪 离子源 聚焦离子源 表面分析仪器