Nonsequitur 20kV 离子枪 离子源 真空 1420

Nonsequitur 20kV 离子枪 离子源 真空 1420

20kV 离子枪

可调光斑尺寸 ≥ 5 微米，用于空间定义溅射或植入

发射调节轰击提供稳定的离子电流

连续可变的束流能量 5kV 至 20kV

用于束扫描和散光校正的双倍极

预目标扫描可缩小光斑尺寸

没有灯丝与样品的直接视线，以避免样品污染

客户可更换灯丝和光束微调孔

双灯丝可在灯丝寿命终止时提供运行备份

所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料均用于制造

差分泵送，最大限度地减少主室气体负荷

可在惰性气体和氮气范围内运行

模式 光斑尺寸 (µM FWHM) 光束电流 (µA) 电流密度 (A/cm²)

小光斑 8 0.5 1

中型光斑 15 5 2.8

大光斑 40 20 1.5

Duoplasmatron Duoplasmatron Equavalent Ion Guns Model 1402 Model 1403 TOF/SIMS Model 1403Cs - Cesium/Alkali Ions Model 1404 Model 1407 Model 1420 Model 1450 Nonsequitur SIMS 二次离子质谱 双等离子发射器 真空测试 真空系统 真空腔 真空表面化学实验 离子枪 离子源 聚焦离子源 表面分析仪器