半导体行业低相位差高速检查设备　RE-200

半导体行业低相位差高速检查设备适用于光轴的高精度管理！ 3σ≦0.02°

低相位差测量

产品信息

特 点

• 可测从0nm开始的低（残留）相位差
• 光轴检出同时可高速测量相位差(Re.)
（相当于0.1秒以下来处理）
• 无驱动部，重复再现性高
• 设置的测量项目少，测量简单
• 测量波长除了550nm以外，还有各种波长
• Rth测量、方位角测量
（需要option的自动旋转倾斜治具
• 通过与拉伸试验机组合，可同时评价膜的偏光特性和光弾性
 (本系统属特注。）

测量项目

• 相位差（ρ[deg.], Re[nm]）
• 主轴方位角（θ[deg.]）
• 椭圆率（ε）・方位角（γ）
• 三次元折射率（NxNyNz）

用　途

• 位相差膜、偏光膜、椭圆膜、视野角改善膜、各种功能性膜
• 树脂、玻璃等透明、非均质材料（玻璃有变形，歪曲等）

原　理

• 什么是RE-200
• RE-200是光子结晶素子（偏光素子）、CCD相机构成的偏光计测模块和透过的偏光光学系相组合，可高速且高精度的测量位相差（相位差）、及主轴方位角。CCD相机1次快门获取偏光强度模式，没有偏光子旋转的机构，系统整体上是属于小型构造，长时间使用也能维持稳定的性能。

仕　样

 Option
• Rth测量、方位角测量※治具本体（旋转：180°, 倾斜：±50°）
• 动旋转倾斜治具