半导体行业相位差膜・光学材料检查设备　RETS-100

半导体行业相位差膜・光学材料检查设备对应范围广，从反射型・透过型type的已封入液晶的cell到带有彩色滤光片的空cell都可对应。

产品信息

特　点

• 采用了偏光光学系和多通道分光检出器
• 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板
• 安全对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备

测量项目

• 封入cell gap
• twist角
• rubbing角
• pretilt角［TN,IPS,FFS,MVA］
• 空cell gap
• 相位差（复折射相位差）的波长分散
• 光学轴
• 椭圆率/方位角
• 三次元折射率/Rth/β
• 分光光谱/色度

测量对象

• 液晶cell
　-　透过、半透过型液晶cell（TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強感应电）
　-　反射型液晶cell（TFT、TN、IPS、VA）
• 光学材料
　-　其他（相位差・椭圆・偏光膜、液晶材料）

仕　样

*　大型玻璃基板也可用（2000mm×2000mm以上）

测量案例

相位差与液晶层间隙值

液晶面内分布图