德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 促动器 线性促动器 P-753

P-753 LISA线性促动器和平台

应用领域：

扫描显微镜

测量技术

测试程序和质量保证

光子

光纤定位

产品参数：

型号：P-753.1CD

主动轴：X

集成传感器：电容式

行程，闭环：15微米

分辨率，闭环：0.1纳米

线性误差，闭环：0.03%

重复精度：±1纳米

螺距/偏转角：±5微弧度

运动方向上的刚性：45牛/微米

谐振频率，空载：5.6千赫兹

带200 克负载时的谐振频率：2.5千赫兹

运动方向上的推/拉力：100 / 20牛

型号：P-753.2CD

主动轴：X

集成传感器：电容式

行程，闭环：30微米

分辨率，闭环：0.2纳米

线性误差，闭环：0.03%

重复精度：±2纳米

螺距/偏转角：±7微弧度

运动方向上的刚性：24牛/微米

谐振频率，空载：3.7千赫兹

带200 克负载时的谐振频率：1.7千赫兹

运动方向上的推/拉力：100 / 20牛

型号：P-753.3CD

主动轴：X

集成传感器：电容式

行程，闭环：38微米

分辨率，闭环：0.25纳米

线性误差，闭环：0.03%

重复精度：±3纳米

螺距/偏转角：±10微弧度

运动方向上的刚性：16牛/微米

谐振频率，空载：2.9千赫兹

带200 克负载时的谐振频率：1.4千赫兹

运动方向上的推/拉力：100 / 20牛

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 促动器 线性促动器 P-753