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面议德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷位移台 P-541.XSL
应用领域:
扫描显微镜
超分辨率显微镜
生物技术
掩模/晶圆定位
样本定位
干涉测量
计量
产品参数:
型号:P-541.ZSL
主动轴:Z
集成传感器:应变片传感器
-20至120 伏时Z向上的开环行程:150微米
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角:–毫弧度
Z向上的闭环行程:100微米
θX、θY向上的闭环偏摆角:-毫弧度
Z向上的分辨率,开环:0.2纳米
θX、θY向上的开环分辨率:–微弧度
Z向上的闭环分辨率:2.5纳米
θX、θY向上的闭环分辨率:–微弧度
Z、θX、θY向上的线性误差:0.2%
Z向上的重复精度:<10纳米
θX、θY向上的重复精度:–微弧度
θX、θY向上的串扰(Z向运动):±15微弧度
产品参数:
型号:P-541.TSL
主动轴:Z,θX,θY
集成传感器:应变片传感器
-20至120 伏时Z向上的开环行程:150微米
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角:±0.6毫弧度
Z向上的闭环行程:100微米
θX、θY向上的闭环偏摆角:±0.4毫弧度
Z向上的分辨率,开环:0.2纳米
θX、θY向上的开环分辨率:0.02微弧度
Z向上的闭环分辨率:2.5纳米
θX、θY向上的闭环分辨率:0.25微弧度
Z、θX、θY向上的线性误差:0.2%
Z向上的重复精度:<10纳米
θX、θY向上的重复精度:0.05微弧度
θX、θY向上的串扰(Z向运动):±15微弧度
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷位移台 P-541.XSL