德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电纳米定位位移台 P-541

应用领域：

扫描显微镜

超分辨率显微镜

掩模/晶圆定位

干涉测量

测量技术

生物技术

显微操纵

产品参数：

型号：P-541.2CD

主动轴：X,Y

分辨率，开环/闭环：0.2/0.3纳米

螺距：<5微弧度

偏转角：<10微弧度

运动方向上的刚性：0.47牛/微米

谐振频率，空载：255赫兹

带100 克负载时的谐振频率：200赫兹

带200 克负载时的谐振频率：180赫兹

带300 克负载时的谐振频率：150赫兹

运动方向上的推/拉力：100/30牛

负载容量：20牛

产品参数：

型号：P-541.2CL

主动轴：X,Y

分辨率，开环/闭环：0.2/0.3纳米

螺距：<5微弧度

偏转角：<10微弧度

运动方向上的刚性：0.47牛/微米

谐振频率，空载：255赫兹

带100 克负载时的谐振频率：200赫兹

带200 克负载时的谐振频率：180赫兹

带300 克负载时的谐振频率：150赫兹

运动方向上的推/拉力：100/30牛

负载容量：20牛

产品参数：

型号：P-541.2SL

主动轴：X,Y

分辨率，开环/闭环：0.2/2.5纳米

螺距：<5微弧度

偏转角：<10微弧度

运动方向上的刚性：0.47牛/微米

谐振频率，空载：255赫兹

带100 克负载时的谐振频率：200赫兹

带200 克负载时的谐振频率：180赫兹

带300 克负载时的谐振频率：150赫兹

运动方向上的推/拉力：100/30牛

负载容量：20牛

产品参数：

型号：P-541.2DD

主动轴：X,Y

分辨率，开环/闭环：0.1/0.3纳米

螺距：<3微弧度

偏转角：<3微弧度

运动方向上的刚性：10牛/微米

谐振频率，空载：1550赫兹

带100 克负载时的谐振频率：–赫兹

带200 克负载时的谐振频率：1230赫兹

带300 克负载时的谐振频率：–赫兹

运动方向上的推/拉力：100/30牛

负载容量：20牛

产品参数：

型号：P-541.20L

主动轴：X,Y

分辨率，开环/闭环：开环为0.2/0.4纳米

螺距：<5微弧度

偏转角：<10微弧度

运动方向上的刚性：0.47/0.4牛/微米

谐振频率，空载：255/230赫兹

带100 克负载时的谐振频率：200/190赫兹

带200 克负载时的谐振频率：180/–赫兹

带300 克负载时的谐振频率：150/145赫兹

运动方向上的推/拉力：100/30牛

负载容量：20牛

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电纳米定位位移台 P-541