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面议德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3DD
德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3DD
应用领域:
扫描显微镜
共聚焦显微镜
掩模/晶圆定位
表面测量技术
纳米压印
显微操纵
图像处理/稳定
型号:P-733.3DD
主动轴:X、Y、Z
集成传感器:电容式
-20至120 伏时的开环行程:33 微米×33 微米×14 微米
行程,闭环:30 微米×30 微米×10 微米
分辨率,开环:0.1纳米
分辨率,闭环:0.1纳米
线性误差(X、Y):0.03%
线性误差(Z):0.03%
重复精度(X、Y):<2纳米
重复精度(Z):<1纳米
螺距(X、Y):<±5微弧度
偏转角(X、Y):<±10微弧度
Z向运动时的倾斜:<±5微弧度
刚度:4(Z向上为10)牛/微米
谐振频率,空载:1200(Z向上为1100)赫兹
带120 克负载时的谐振频率:–赫兹
带200 克负载时的谐振频率:530(Z向上为635)赫兹
运动方向上的推/拉力:50/20牛
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3DD