全自动大样品台原子力显微镜

缺陷分析的佳选择

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。200mm样品全尺寸自动测量，无需人工操作。

强大全面的分析功能

可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针针尖更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

即便是*接触原子显微镜的工程师也易于操作

ParkNX20拥有业界为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

全自动大样品台原子力显微镜

为FA和研究实验室提供形貌测量解决方案

缺陷检查成像和分析

高分辨率电子扫描模式

对样品和基片进行表面粗糙度测量

样品侧壁三维结构测量

低噪音Z探测器可准确测量AFM表面形貌

非接触模式，降低针尖磨损，减少换探针时间

非接触模式下的快速缺陷成像

业内三维结构测量的解耦XY扫描系统

通过使用热匹配的组件，尽量减少系统漂移和迟滞现象

低噪声Z探测器可准确测量AFM表面形貌

业界低噪声Z检测器测量样品表面形貌

没有过沿过冲和压电蠕变误差的真正样品表面形貌

即使是高速扫描也可以保持准确的表面高度

行业前向和后向扫描间隙横向漂移小于0.15%

全自动大样品台原子力显微镜

用真正的非接触扫描方式节省成本

在一般用途和缺陷成像中，具有普通扫描模式10倍或更长的针尖使用寿命减少针尖摩损

真实的再现样品微观三维形貌，减少样品在扫描过程中的损坏或变形。

行业低噪声Z轴探测器

超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02nm，从而达成非常样品形貌成像，没有边沿过冲无须校准。 NX20为您提供好的数据同时也为您节省宝贵的时间

真正非接触模式™可保护针尖锋利度

原子力显微镜的针尖本身很脆弱，在扫描过程中，针尖磨损会逐渐降图片质量和分辨率。测量表面软的样品时，针尖也会破坏样品并生成不准确的样品高度测量数据。作为Park原子力显微镜*的一种扫描模式，真正非接触模式™可持续获得高分辨率且准确的数据，同时保持针尖的完整性。

全自动大样品台原子力显微镜NX20

凝聚着具创新的AFM技术

100 μm x100 μm扫描范围的XY平板扫描器

XY平板扫描器，采用压电堆栈设计，减少传统扫描过程中XY的正交影响，具有高速的影响频率，实现准确的样品纳米级扫描。

高速Z轴扫描器，扫描范围达15μm

高强度压电堆栈和饶性设计，标准Z轴扫描器的共振频率大于9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴扫描速率不低于48mm/秒。 Z轴大扫描范围可从标准的15μm扩展至30μm(长范围Z扫描头)。

低噪声XYZ位置传感器

低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

集成编码器的XY自动样品载品

编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更准确地控制样品测量位置。XY马达动工作时分辨率为1μm，重复率为2μm。Z马达运动的分辨率为0.1μm，重复率为1μm。

自动多点样品扫描

借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程：

1.扫描成像

2.抬起悬臂

3.移动驱动平台到设定位置

4.进针

5.重新设定位置扫描成像

该自动化功能大大减少扫描过程中人工的移动样品，从而缩短测试时间，提高生产率。

操作方便的样品台

特殊的头部设计，可使用从侧面操作样品及探针，根据所选择样品台的行程范围，用品在样品台上可放置的大样品直径200mm。

用于拓展扫描模式易插拔扩展槽

你只需要将可选模块插入扩展槽，便可激活拓展扫描显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高

同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统

扫描头滑动嵌入式设计

你只需滑动嵌入燕尾导执便可轻松更换原子力显微镜扫描头。该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置，无须调节激光位置，激光自动投射在针尖上。借助于乡优异的四象限检测器，显微镜可准确成像并可准确测定力，距离曲线。

自动Z轴移动和聚焦系统

高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。

高速24位数字电子控制器

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。该控制器是个全数字，24位高速控制器，可确保True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。凭借着低噪音设计和高速处理单元，该控制器也是纳米成象和准确电压、电流测量的选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方式，是资深研究员的佳选择。

XY.Z轴检测器的24位信号分辨率

XY轴的小分辨率为0.003nm (50 μm XY扫描器)

Z轴的小分辨率为0.001nm (50 μm Z扫描器)

嵌入式数字信号处理功能

三个锁相放大器

探针弹簧系数校准(热方法)

数字化Q控制

集成式信号端口

可编程信号输入/输出端口

7个输入端口和3个输出端口

世界上容易操作的AFM

简单的探针和样品更换

*的设计让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。借助安装悬臂式探针夹头中于预先校准的探针位置，无须再进行繁琐的激光调节工作。

带有两级反馈系统的闭环XY扫描器

XY扫平板扫描器的每个轴上的低噪声位移传应器，可以在进行大扫描范围时提高样本扫描正交性。次级传感器会对非线性和非平面位置错误进行补偿，真实的还原样品的形貌。

闪电般快速的自动进针

自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。通过监测悬臂接近表面的反应，Park NX20能够在探针装载后，十秒内自动快速完成探针进针操作。高速、轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得探针无需用户干预就能快速接触样品表面。

主动温控隔音罩

专为Park NX20设计的隔音罩，主动进行温度调节功能，保证侧试环境在一个*稳定的热环境中。 Park NX20 还具有主动隔振功能，*与外界的声、光噪声隔离，因此测试的准确性将不受到外界干扰。

操作简单-创新的控制设计使Park NX20能够快速达于温度平衡

节省操作时间-关闭隔音罩10分钟内可保持测试环境低于0.05°C的温差