OPTM 系列显微分光膜厚仪

•  使用显微光谱法在微小区域内通过绝.对反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。

•  可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了 即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件。

•  头部集成了薄膜厚度测量所需功能

•  通过显微光谱法测量高精度绝.对反射率（多层膜厚度，光学常数）

•  1点1秒高速测量

•  显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）

•  区域传感器的安全机制

•  易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析

•  独立测量头对应各种inline客制化需求

•  支持各种自定义

测量项目：

•  绝.对反射率测量

•  多层膜解析

•  光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）

OPTM 系列显微分光膜厚仪