Capability:

• Epi layer characterization
  -Dopant Profile-N(x)
  -Resistivity Profile-p(x)

• Gate metrology
  -Oxide thickness-EOT
  -Flatland, threshold voltage-V_FB,V_T
  Effective oxide charge-Q_EFF
  -Dielectric constant-k
  -Interface state density-Dit

• IV measurements of low-k dielectricsStepped voltage, stepped current,
  .Constant current modes
  -Leakage current-l_L
  -V_BDfor HMET
  -Field-to-breakdown-F_BD
  -K_SB, t_sb,Q_BD, V_max

上海波铭科学仪器有限公司主要提供光谱光电集成系统、晶萃光学机械和光学平台、激光器、Edmund 光学元件、Newport 产品、滨松光电探测器、卓立汉光荧光拉曼光谱仪、是德 Keysight 电学测试系统、大塚 Otsuka 膜厚仪、鑫图科研级相机、Semilab 半导体测试设备及高低温探针台系统。经过多年的发展，上海波铭科学仪器有限公司在市场上已取得了一定的地位。我们的产品和服务在行业内具有较高的知zhi名度和美誉度，客户遍布全国。我们将继续努力，不断提升市场地位和影响力。