其他品牌 品牌
经销商厂商性质
上海市所在地
SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米级别。 SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪拥有纳米级测试精度，外接PC或笔记本电脑进行实时数据分析。 SmartWLI功能全面，轻松应对各种测试环境。电动XY双轴样品台匹配自动拼接程序，应对大面积测试任务。典型应用包括科学研究、质量控制和工艺管理。
测量系统 | |
量测原理 | 白光干涉 |
Z轴定位系统 | 压电效应调节系统 |
高度量测范围 | 大可达400 μm |
摄像头参数 | CCD摄像头；1624x 1234相素 |
干涉物镜系统 | |
放大倍数MAG 视场范围FOV (mm) 横向分辨率 (um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm – 0.55 μm |
光源 | LED |
测试时间 | 通常＜20秒 |
软件系统 | |
SmartWLI | 基于微软Win7操作系统，64位表面形貌测量软件；三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。 |
MountainsMap | 三维数据分析软件，轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标（DIN）欧标（ EN） ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。 |
输出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |
