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INHA-气体质量流量控制器-数字型
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基于多年的经验，我们未来将会成为一家专门从事真空部件销售的公司，并且我们将始终致力于为真空行业中的工作人员提供帮助。我们在学校和研究机构中从事真空相关研究已有多年经验。
我们还专门从事MFC的研究和生产，并进口代理和销售用MFC。此外，我们配备了校准器，可以通过提供MFC专业维修和组装来解决技术问题和交货时间。
公司本着“追求好、精益求精”的精神，提供优质的产品和快捷，细致，可靠的服务，精诚合作，共同进步！
INHA-气体质量流量控制器-数字型
| 气体质量流量控制器MF-200DC | ||
| »三维尺寸图 | ||
| rniii iirn | ||
| INHA® | ||
| MASS FLOW CONTROLLER | ||
| »特征 | ||
| -全数字架构 | ||
| -更快的理应速度 | ||
| -准确度局 | ||
| -稳定的流量控制 | ||
| -宽压力范围 | ||
| -优良的耐腐蚀性 | ||
| -出色的线性度 | ||
| -新型传感制作工艺 | ||
| BE | ||
| • Seem,Sim表示标准气体流量（20°C 101.3Kpa） | ||
| » L品规格 | ||
| 型号 | ||
| MF-200DC | ||
| Mass Flow Coniridlltr | ||
| and 闢®Mr | ||
| 芭 | ||
| 3R | ||
| 76 | ||
| "X" | ||
| "X"尺寸规格 | ||
| 接口规格 | ||
| l/8"Lok | ||
| l/4"Lok | ||
| 3/8"Lok | ||
| 1/2"Lok | ||
| 1/4"VCR | ||
| 1/2 "VCR | ||
| 单位：m m | ||
| mm | ||
| 122.7 | ||
| 127.3 | ||
| 130.4 | ||
| 134.4 | ||
| 123.8 | ||
| 131.4 | ||
| BE | ||
| 56 | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF200D Series | ||
| FLOW ， | ||
| ■型号 | MF-200DC | |
| 流量规格（N2 ） 控制量程 准确度 线性精度 重复精度 响应时间 正常工作温度范围 正常工作压力范围 漏率 电源 信号类型 密封类型 控制类型 连接器类型 气路接口类型 接口类型 材质 预热时间 | 5SCCM-50SLM 2%〜100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale <1 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) 0~100 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 14Vdc~27Vdc/300mA 0-5V or 4-20mA/Rs485(Modbus Rtu) Viton/Bu na/Kal rez/T eflon/Epd m Normally Closed Solenoid D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , 3/8"l/2nLOK , l/4n , 1/2"VCR Digital Type SUS 316L 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) | |
| »电气连接 | ||
| 电气连接方式 | ||
| 数字型（模拟信号兼容） | ||
| 编号 | ||
| 功能 | ||
| MF-200DC | ||
| 1 | 地 | • |
| 2 | + 15V -+27V 电源 | • |
| 3 | Rs-485 B(-) | • |
| 4 | 信号公共端 | • |
| 5 | 阀控 | • |
| 6 | 信号输出 | • |
| 7 | 电源公共端 | • |
| 8 | 信号输入 | • |
| 9 | Rs-485 A(+) | • |
| INHA | ||
| INHA | ||
| MASS FLOW Meter | ||
| MASS FLOW Meter | ||
| mifirai | ||
| ^Iz- | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF200D Series | ||
| • Seem,Sim表示标准气体流量(20°C 101.3Kpa) | ||
| »广品规格 | ||
| 型号 | ||
| 流量规格（N2 ） | ||
| 控制量程 | ||
| 准确度 | ||
| 线性精度 | ||
| 重复精度 | ||
| 响应时间 | ||
| 正常工作温度范围 | ||
| 正常工作压力范围 | ||
| 漏率 | ||
| 电源 | ||
| 信号类型 | ||
| 密封类型 | ||
| 控制类型 | ||
| 连接器类型 | ||
| 气路接口类型 | ||
| 接口类型 | ||
| 材质 | ||
| 预热时间 |
