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INHA-气体质量流量控制器-模拟型
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基于多年的经验，我们未来将会成为一家专门从事真空部件销售的公司，并且我们将始终致力于为真空行业中的工作人员提供帮助。我们在学校和研究机构中从事真空相关研究已有多年经验。
我们还专门从事MFC的研究和生产，并进口代理和销售用MFC。此外，我们配备了校准器，可以通过提供MFC专业维修和组装来解决技术问题和交货时间。
公司本着“追求好、精益求精”的精神，提供优质的产品和快捷，细致，可靠的服务，精诚合作，共同进步！
INHA-气体质量流量控制器-模拟型
| 气体质量流量控制器 MF-200C | ||
| »三维尺寸图 | ||
| »特征 | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF 200 Series | ||
| -响应速度快 | ||
| -准确度咼 | ||
| -稳定的流量控制 | ||
| -宽压力范围 | ||
| -优良的耐腐蚀性 | ||
| -出色的线性度 | ||
| -新型传感制作工艺 | ||
| 单位：mm | ||
| "X"尺寸规格 | ||
| 接口规格 | mm | |
| l/8nLok | 122.7 | |
| l/4"Lok | 1273 | |
| 3/8HLok | 130.4 | |
| l/2"Lok | 134.4 | |
| 1/4"VCR | 123.8 | |
| 1/2"VCR | 131.4 | |
| • Sccm,Slm表示标准气体流量(20°C 101.3Kpa) | ||
| »产品规格 | ||
| 型号 | MF-200C | |
| 流量规格（N2 ） 控制量程 准确度 线性精度 重复精度 响应时间 正常工作温度范围 正常工作压力范围 漏率 电源 信号类型 密封类型 控制类型 连接器类型 气路接口类型 接口类型 材质 预热时间 | 10SCCM-30SLM 2%~100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale(20 , 30SLM : <±1.5 Full Scale) <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale <2 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) 0-100 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 15Vdc or 24Vdc/300mA 0-5V or4-20mA Viton/Buna/Ka 1 rez/T eflon/Epd m Normally Closed Solenoid D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , 1/8" , 3/8nl/2"LOK l/4"l/2nVCR Analog Type SUS 316L 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min) | |
| »电气连接 | ||
| M3 | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF 200 Series | ||
| FLOW » | ||
| 电气连接方式 | I 电压电流型 | |
| 编号 | 功能 | MF-200C |
| 1 | 地 | • |
| 2 | + 15V/+24V 电源 | • |
| 3 | 空 | X |
| 4 | 信号公共端 | • |
| 5 | 阀控 | • |
| 6 | 0-5Vdc信号输出 | • |
| 7 | 电源公共端 | • |
| 8 | 0-5Vdc信号输入 | • |
| 9 | 空 | X |
| MASS FLOW Meter | ||
