产品型号

  SKJ-50晶体生长炉

主要特点

  1、与同类相比属于小型晶体生长炉，适合于大专院校、研究所使用。

  2、电子称在生长过程中可自动控制晶体的直径。

技术参数

  1、电源：三相380V  25KW

  2、感应射频：功率25KW，射频0.2-20KHz

  3、真空腔体：Φ500mm×700mm

  4、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（扩散泵泵）

  5、zui大提拉行程：500mm

  6、提拉速度：0.1-20mm/h

  7、籽晶杆旋转速度：0-40rpm

  8、zui大可熔融温度：2100℃

  9、控温精度：<±0.2℃

  10、冷却水：所需水压0.13-0.18MPa，所需流量60L/min

  11、移动速度：1mm/h-10mm/h可调

  12、快速移动：手动

  13、结晶转速：1-50rpm

  14、真空系统：机械泵和扩散泵

  15、极限真空度：10^-5torr

产品规格

  1、炉体：880mm×1250mm×2850mm

  2、控制柜：680mm×540mm×1700mm

  3、中频柜：1100mm×500mm×1500mm

  4、总重：1500kg