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PCE-3等离子清洗机的等离子腔体为Ø75mm×165mm的耐热玻璃腔体，输出功率6.8W、10.5W、18W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备，在射频电源的作用下，去除速率可达10nm/min。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理，将对生长具有显著的作用。PCE-3等离子清洗机配有一个真空泵，可对腔体进行抽真空，同时通入氩气等保护气体，适用于对易氧化的物品的清洗。
产品名称 | PCE-3等离子清洗机 |
产品型号 | PCE-3 |
主要特点 | 1、使用可调射频电源， 可以设置低、中、高功率。 2、桌上型设备，结构紧凑、操作安 全、环境友好、低成本。 |
技术参数 | 1、输入电压：110V/220V、50Hz/60Hz （请提前选定），小于100W 2、输出功率：13.56MHz 3、等离子直流电源：低功率设定—680V，10mA，6.8W；中 功率设定—700V，15mA，10.5W；高功率设定—720V，25mA，18W 4、等离子腔室：Ø75mm×165mm，耐热玻璃，前盖可拆卸 5、通入气体：可通入多种气体，如N2、Ar、空气、混合气体等，主要根据处理材料性质所定 6、真空泵和阀的要求：>160L/min，极限压力200mtorr（0.27mbar），可选择数字真空表，针阀控制气体流量，采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气
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清洗及蚀刻 | |
产品规格 | 尺寸：200mm×250mm×210mm；重量：8kg（不含泵） |
注意事项 | 不能使用可燃性气体 |
可选配件 | 本司研发的电阻真空计 以Pirani电阻规在不同真空环境下提现的热传导性为原理而研发的一款低真空测量仪器，特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空测量。 |
