PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率为3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。体积小，占用的空间少，可有效节约实验室空间。配有一个双旋真空泵，可对腔体进行抽真空，同时通入氩气等气体，适用于对易氧化的物品的清洗。1、通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
2、时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
3、设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为6mm卡套接口。
4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。