高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配，它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C会在影响产量之前，加快工艺气体分配系统的资格确认，监测气体中的粒子。HPGP与粒子数据系统、以太网(pds-e)配对，收集并报告由探测器捕获的数据。

特点

• 安全保护壳

• 氧气与氢气兼容性

•  0.1SCFM下，灵敏度为0.1μm

• 8个粒子通道

• 管道压力从40到150psig

• 被动式激光源

• 并行处理阵列检测器系统

优点

• 核实粒子质量

• 检测工艺异常

• 量化系统更改的影响

• 提供精确粒径

• 使用 Facility Net软件来进行全面的数据存储、管理、报告和警报

• 被动式激光源设计只需极少的维护

• 净化的惰性气体确保安全

• 样本气体一旦泄漏，容器立刻终止电源

应用

• 气体分布系统的资格确认

• 工艺气体监测

• 活性气体监测