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用于存放化学粒子传感器，借助外部警报检测化学泄漏，并在发生泄漏时提供二级密封保护。在粒子计数器或取样接口内发生化学品泄漏的情况下，系统将自动检测到泄漏，关闭进样口和出样口阀，关闭粒子传感器电源，并触发外部警报。
二级密封防护，聚丙烯结构
用于 15 至 40 °C 的室温加工化学品采样
液体泄漏检测仪
安全切断开关
外部泄漏报警灯与外部触点闭合使泄漏警报器与外部系统实现通信
进样口和出样口关闭阀
PFA 气泡分离器可去除大气泡
透明的顶部入口门，带门联锁装置
控制化学品粒子计数器电源开关
两对安装在侧面的手柄
为化学粒子传感器提供了安全密封保护
自动检测化学品泄漏并发出警报
在警报情况下安全关闭化学样品线
粒子监测：
化学品分配系统
半导体制程设备
高纯度化学品包装厂
