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LiQuilaz® II 系列液体粒子计数器是体积式粒子计数器，有不同的灵敏度，高灵敏度的粒子计数器可监测小至0.2um的粒子。她们为大多数工艺化学品提供高精密分析，例如氢氟酸和高达306°F (150 °C)的热腐蚀剂。
LiQuilaz II 粒子计数器的测量结果具有准确性、可靠性和重复性，深受客户信任。 LiQuilaz II 粒子计数器具有RS-485和以太网网络通信功能，新功能提高了监测的灵活性，而且使安装变得更加简单。
体积式粒子计数器通过监测100%采样体积（多达80 毫升/分）提供高精确度的结果，所以短时间采样的数据结果也具有统计意义。
特点
0.3 -3.0μm大小区间
流量是80 ± 10% 毫升/分钟
和广泛工艺化学品相兼容
体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
用户可选择的粒径值
灵敏度: S02: 0.2 – 2.0 µm, S03: 0.3 – 3.0 µm, S05: 0.5 – 20.0 µm
使用压缩采样进行冒泡的化学品测量
化学质量保证
工艺槽监测
去离子水监测
化学品传输系统
光刻胶监测
