KYKY/中科科仪 品牌
经销商厂商性质
上海所在地
产品特点：
节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
应用领域：
科研、加速器、碳化硅、晶体晶振、光伏、Low-E玻璃镀膜、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉
电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻、电子器件
技术参数：
进气口法兰：DN200 ISO F（标配） DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制)
排气口法兰：KF40
抽速速率(L/S)：N2:1280 Ar:1100 He:880 H2:560
压缩比：N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He:＞1E4 H2:＞1E3
极限压强（Pa）：1E-7（橡胶密封） 1E-8（金属密封）
最大瞬时入口流量（sccm）：1100
保护气入口法兰（选配）：KF10
推荐保护气体流量:20
最大允许磁场强度: 径向：3 轴向：15
额定转速（rpm）:30000
启动时间（min）:≤6
停机时间（min）：≤8
冷却方式：水冷
冷却水流量（L/min）：2
推荐冷却水温度（℃）：20±5
电源电压（V AC）： 220±10％，50Hz 110±10％，60Hz
适配电源型号：CXFD-1001
建议前级泵： ≥16
重量（kg）：51
产品尺寸图：
