12英寸全自动射频探针台

产品特点：

1，专为多种晶圆测试应用而设计

• 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV，ESD,1/f

• 射频、毫米波、射频频率可设置可从26GHz到 110GHz或更高。

• 晶圆级可靠性-用于精确的压力和测量条件
     

• lin先的测试执行软件套装的驱动程序

2，WaferWalletTM 操作平台

• 设计有五个单独的托盘，可按人体工学方式手动装载150、200或300毫米的“模型”晶圆

• 在多个温度条件下全自动测试可多达五个相同的晶圆
     

• 有在任何温度下装载/卸载晶片的*能力

  
  

  
  

3，ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

• 专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量测环境，以得到最佳的 1/f 超低噪测试结果

• 支援 fA ji超低噪 IV 量测

• 可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

• 具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C
     
     

3，工效学设计及弹性选配

• 从正面轻松放置晶片或单个DUT
     

• 内建防震系统

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作

• 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)选配具自动进行露点控制功能

• 预留制冷机组空间，节省空间不占位

• 仪器架选配，可缩短射频电缆之架设长度，提供最高的量测机能

设备简介：

TS3500和TS3500-SE 在功能上与MPI著名的已建立的 TS3000 和  TS3000-SE  300毫米探针台具有相同的功能，通过配置或升级MPI*的WaferWallet™，可以实现全自动功能。MPI的解决方案通过提供比其他供应商的半自动化产品更少的*自动化功能，降低了客户的总体测试成本。