毫米波探针台| MPI 8英寸射频高低温手动探针台 TS200-SE

MPI TS200-ShielDEnvironment™（TS200-SE）旨在确保在-60至+ 300°C的温度范围内提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能。

具有ShielDEnvironment™的MPI TS200-SE探针系统可提供最大的EMI屏蔽，并允许进行低噪声的器件在片测量，从而可广泛用于各种应用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片级可靠性，故障分析，设计验证，和大功率。

    TS200-SE模块化的模块化设计创造了*的升级途径。所有TS200-SE探测附件，例如热卡盘，显微镜和定位器，都可以升级或重新配置，以适应涵盖工具使用寿命的各种应用需求，从而使拥有成本越来越低。 MPI 8英寸射频高低温手动探针台

特点与优势：

• MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的本地环境箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

• MPI ShielDEnvironment™的一个*可配置的部分，它允许多达  4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin或这些配置的组合。MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于重新配置-很多小事情在简化日常操作方面发挥了重要作用。完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探针卡支架替换。

• TS200-SE与所有MPI手册TS150，TS200和TS300探针系统共享平台和探针压板提升的概念  。MPI空气轴承载物台设计具有简单的单手冰球控制，为快速XY导航和快速晶圆装载提供了极为方便的操作。  通过增加精确的25×25 mm XY-Theta千分尺移动，可以实现精确的定位功能。 请另外检查*的Z卡盘控件。

• 可重复的（1 µm）压板提升设计具有三个离散的位置，用于接触，分离（300 µm）和加载（3 mm）。  升降机包括一个安全锁旋转装置，可防止平台意外下降。这些功能提供功能，并且是MPI TS200-SE手动探针系统的标准产品。防止意外的探针或晶片损坏对于系统设计至关重要，并提供直观的控制，准确的触点定位，安全的设置以及简单的步进和重复功能。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

• TS200-SE除空气轴承XY工作台外还包括– 5 mm Z吸盘调整（μm分辨率），可实现精确，精确的接触/超程控制或探针卡跌落校正。1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈。另外20毫米气动举升机提供了简便的大陆式装卸程序。

• TS200-SE可提供各种 卡盘选件， 以满足不同的预算和应用要求：环境卡盘：同轴，三轴或射频，带有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的射频校准-60°C至300°C的各种ERS AirCool卡盘。

• 晶圆装载门可以在15°C以下的任何温度下简单锁定–此*功能使TS200-SE成为市场上安全的手动探针台。此外，可以通过使用*集成的触摸屏显示器来操作热卡盘，该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速，操作和即时的反馈。

• 这些卡盘采用ERSAC3冷却技术及其空气管理系统，可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment™，与市场上的其他系统相比，可减少多达30％至50％的干燥空气消耗。

• MPI光学器件可以选择单管MPI SuperZoom™SZ10，具有高达12倍光学变焦和超过42毫米工作距离的MegaZoom™MZ12或EeyZoom™EZ10 –具有人体工程学的20倍目镜，90毫米目镜的10倍光学变焦光学元件。工作距离和低至2 µm的光学分辨能力。