MKS 微波电源 ASTeX AX3060-10 智能微波匹配器，Smart Match模块可用于高达 6kW 的功率水平，具有用户可选择的操作模式和反射功率阈值，已通过资格提供快速、可靠的调谐多种等离子负载，包括 O2、N2、CF4、NF3、H2O、NH3、N2H2 及其他，典型的匹配速度低于 1 秒。

优点

1.MKS 微波电源 ASTeX AX3060-10 智能微波匹配器能够快速、可靠的匹配，即使是难度较高的等离子负载

2.无需单独控制器的手动操作，可提高准确性并降低拥有成本

3.*的预测算法，配备强大的微控制器和快速存根移动机制

规格

类型：SmartMatch微波匹配装置

匹配时间：＜2秒

匹配系统：Three stubs on 1-4 length waveguide intervals.

波导尺寸：WR284

工作频率：2.45 GHz ±15 MHz

可能的匹配范围：匹配极限驻波比（VSWR）为10

匹配头重量：6.4公斤（14磅）

安装位置：任何位置

用户界面：RS485，Analog

环境温度：≤50℃

匹配头冷却要求：水流在0.25gpm情况下，水温≤30°C，30psid压差

匹配头功率要求：24 VDC ±10%

测量模块尺寸：3.43*4.87*8.0 inches（87*124*203 mm)

匹配头尺寸：10.25*6.18*11 inches（260*156*279mm）

测量模块重量：0.9公斤（2磅）