NIHON KOSHUHA MKN 502-3S2B03-OSC 微波电源 微波振荡部件 Microwave Oscillator Section  输出功率从500W ~ 5KW，是具备高稳定性，低波纹的微波电源振荡部件，需配套MKN微波电源使用。主要运用于微波等离子CVD、微波ECR等离子等半导体制造进程中。    

NIHON KOSHUHA 微波电源 MKN152-3S9-PS 技术参数

设备品牌：NIHON KOSHUHA

设备型号：MKN-502-3S2B03-OSC

设备输出频率：2450 ± 30MHz

额定输出功率：150W ~ 1500W

设备输出法兰：BRJ-2

功率输出稳定度：电源电压±10%的变动，Max输出的±1%以下

输出波纹：Max 输出值的5%pp以下

AC 电源输入：3phase~ ，200V，50/60Hz，11KVA

散热方式：风冷散热

尺寸大小：370 * 270 * 270 mm

设备重量：25公斤