NIHON KOSHUHA 微波电源 MKN152-3S9-PS Microwave Power Supply 是经过现场长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能微波电源。MKN系列微波电源的输出功率范围为300W ~ 10KW，响应迅速，能够实现对输出功率的精准控制，是具备高稳定性，低波纹的微波电源。该系列微波电源是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源，主要运用于微波等离子CVD、微波ECR等离子等半导体制造进程中。                                                                                                                                                                                                          

NIHON KOSHUHA 微波电源 MKN152-3S9-PS 技术参数

输出频率：2450 ± 30MHz

额定输出功率：150W ~ 1500W

输出法兰：BRJ-2

功率输出稳定度：电源电压±10%的变动，Max输出的±1%以下

输出波纹：Max 输出值的5%pp以下

AC输入：3phase，220V，3.1KVA

散热方式：风冷散热

尺寸大小：480 * 500 * 199 mm

设备重量：25公斤