AE 直流电源 ASCENT 60K DC Power Supply采用主动电弧管理，而非通用预设电弧响应，每 1 kW 输出能量小于 0.4 mJ，通过电弧条件确保工艺稳定且可重复，针对更高功率应用的主/从配置，更高的功率等级，减少电弧损坏。随着制造技术的进步发展，新材料和阴极设计对工艺稳定性和镀膜的可重复性提出了更大的挑战。对于任何工艺材料和阴极设计，Ascent Series电源都能提供稳定且重复性高的功率输出。AMS 采用*的电弧管理，即使在提供高额功率的同时也可以使工艺快速恢复。极快的恢复速度，还意味着电弧产生的能量极低，从而避免衬底损害。

AE 直流电源 ASCENT 60K DC Power Supply 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：Ascent 60K

AC 电源输入：3 phase~ +PE，~480V，100A，50/60Hz

DC 电源输出：800V，140A，60KW

通讯接口：Service，Ethernet，User，RS-232C，Remote，Ext Arc Link，M/S Link

设备散热：水冷+风冷

水冷进水需求：MIN进水水流 4.0GPM，MAX进水水压 6.9bar（690KPa）

AE ASCENT 60K 优点：

1.获取优质镀膜和高产量

2.减轻薄膜、衬底和设备损坏

3.在苛刻的电弧条件下，可实现稳定的产量和供电

4.易于集成和控制

AE ASCENT 60K 特点

1.Arc Management System  (AMS) 技术 — 客户可以对金属和陶瓷靶材进行预设

2.Set Point Compensation 技术

3.Arc Sync 技术 — 主/从搭配最多可至 12 台电源

4.Ethernet、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、Ethernet/IP 和模拟通信