KYOSAN 高压直流电源 HPK4R8ZI 4.8KW DC Power Supply 是经过长期现场验证的具有优良的工艺稳定性和控制能力的高压直流电源，是广泛用作半导体制造装置、平板显示器、太阳能面板等制造工艺的直流电源，且支持无弧反应溅射，可减少差异度提高良品率。

KYOSAN HPK Series 特点：

1.配备了CPU的数值控制与通信功能，同时操作非常简单

2.可以在DC电压的广泛范围内供应额定电力，是适用于高速电弧阻断功能必*光学膜（SiO2,TiOx）、耐磨损膜（SiOx,Al2O3）以及透明传导膜（ITO）的成膜工艺

3.支持与RF系统之间的耦合功能

KYOSAN 高压直流电源 HPK4R8ZI 4.8KW DC Power Supply 技术参数：

1.设备品牌：KYOSAN

2.设备型号：HPK4R8ZI-TE11                                                                                    

3.AC 电源输入：200 ~ 208V，3 phase ~，50/60Hz，25A

4.DC 电源输出：1600V，4A（4.8KW max）

5.散热方式：风冷散热

6.通信接口：DeviceNet，DIO，Debug

7.设备重量：40kg