MKS 直流电源 DCG-200Z OPTIMA 10KW DC Power Supply 是经过现场长期验证，久经机台测验的高可靠性和优良性能的直流电源。MKS DCG系列直流电源具有一个前置主断路器，电源和故障状态led，和一个后部八脚连接器，输出功率10KW，直流电机扭力Max 12 in/LB 。该系列直流电源设备具有优秀的工艺稳定性和控制能力，能够实现对输出功率的精准控制，广泛应用在半导体制程的薄膜工艺中。

MKS DCG Series 设备特点

1.前置主断路器

2.电源和故障状态等

3.八脚连接器

MKS 直流电源 DCG-200Z OPTIMA 10KW 技术参数

设备品牌：MKS

设备型号：DCG-200Z OPTIMA                                                                                                            

AC 电源输入：3 phase~，480V（+5% ~ 8%），30A，50/60Hz

总输出功率：10KW

单路输出功率，10KW（Max.）

通信接口：SERIAL、DeviceNet、Analog、M/S COMM

散热方式：风冷散热

设备重量：24kg（53lbs）