JED-2300/2300F 能谱仪是以“图像观察和分析“ 为基本理念的TEM/EDS集成系统，通过与SEM的马达驱动样品台联动使用，可以进行大范围的观察和分析。EDS通过检测被电子束激发出的样品的特征X射线，确定样品含有的元素及成分比，可以进行微区的点分析、线分析及面分析。

JSM-6510/LA, JSM-6610A/LA 系列

JED-2300/2300F 能谱仪可以在SEM图像上分析位置，开始EDS分析。

VID

将采集的X射线谱图和Visual PeakID（VID）合成的谱图进行比较，定性结果可以通过视觉、数值判断

Play Back

Play Back (回放) 功能
用JEOL制造的EDS采集的元素面分布图，不仅保存了每一帧中各个像素点的谱图，还对每一帧中电子束形成的图像进行了存储。利用Play back功能，可以进行多角度的分析如观测谱图等随时间的变化等。测试后数据能够回放，可以观察到样品按时间顺序发生的变化，这是至今为止无法实现的。此外，利用Play Back功能还可以截取任意的画面。

Smile Station™ 2

Smile Station™2功能通过在多个视野上自动进行分析，生成SEM和元素面分布图的无缝蒙太奇图像，也可以在取得的视野上进行连续的元素面分布和点分析等。

Dry SD 检测器

Dry SD 检测器（SDD检测器）与传统的EDS检测器不同，不需要液氮制冷。使用快速简单，同时实现了高分辨率和高计数率处理。