等离子电源

13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-150W可调

远程等离子源，自动匹配器

清洗室

清洗室尺寸0180xH100mm

清洗数量

可同时清洗3支TEM样品杆

适配品牌

美国THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本电子(JEOL)

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。0-500sccm/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

皮拉尼真空计，测量范围1.0E-5Pa~1E+5Pa

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

真空泵

前级泵

抽气速率2.5 m³/h

分子泵

极限真空：LF<8*10⁶Pa,CF<8*10'Pa

分子泵抽速85L/s(N₂)

入口法兰：DN63 ISO-K(LF)/CF

质量保证

二年质保，终身维护

电  源

AC220V、50/60Hz,300W

产品尺寸

L565xW505xH560mm

包装尺寸

L715xW655xH820mm

整机重量

68kc