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TESCAN AMBER X结合了分析型等离 子F旧和超高分辨(UHR)扫描电镜的综合分析平 台,能够很好的应对传统的Ga离子F旧-SEM难以 完成的困难工作的挑战。
TESCAN AMBER X配置了氣(Xe)等离子F旧 镜筒和BrightBeam™电子镜筒,能够同时提供高 效率、大面积样品刻蚀,以及无漏磁超高分辨成 像,适用于各类传统或新型材料的二维成像以及大 尺度的三维结构表征。拥有AMBER X不仅能够满 足您现阶段对材料探索的需求,也为您将来的研究 工作做好充分的准备。
iFIB+E氧等离子源FIB镜筒
新型iF旧+tm xe等离子FIB离子束流强度可从 1 pA到2 pA变化,在一台机器中实现广泛应用, 如超低束流的无损抛光和纳米加工等。Xe等离子还 具有注入效应小、不形成金属间化合物、不改变加 工区域电学性质等优点。
OptiGIS,气体注入系统
最新设计的OptiGIS^气体注入系统,可支持 同时安装6种沉积气体(W、Pt、C、SiOxs XeF2s H2O),并有多种气体源可供选择。
• SEM 分辨率:0.9nm@15kV
• F旧分辨率:v15nm@30kV
• Xe等离子镜筒可提供高达2 pA的超高离子 束流,并保持束斑质量
• 超高加工效率,在30 kV下最大视场范围超 过1 mm
• 使用F旧观察功能可以自由切换成像模式, 在FIB刻蚀或沉积的同时可以进行SEM成像
• 可配置多种分析扩展附件,如EDS、EBSD、 CL等,并可同时与Raman、TOF-SIMS联用
1.使用等离子FIB制备的TEM样品。
2.高合金钢中析出物的EDS三维重构图像。
3.TOF-SIMS联用分析应用一锂离子电池中Li元素的分布和性质表征。
4.Raman联用分析应用一背散射电子成像和拉曼光谱图叠加,可以清 晰辨认矿物的不同种类