产品介绍

LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。

技术优势

· 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试

· 最大可用于12英寸以内样品测试

· 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节

· 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试

· PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃

· 满足1μm以上电极/PAD使用

· 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）

· 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计

· 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座

· 显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式

模块介绍

通用参数

常规选型

相关配件

多种精度，多种夹具类型探针座

同轴线缆，三同轴线缆

各种类型探针

真空泵

电学测试夹具

电磁屏蔽箱

应用领域

半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验室。

谱量光电可以根据客户实际应用需求，定制配套恒温加热探针台系统，以达到更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询