产品介绍

TLRH系列 谱量光电 精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。

技术优势

.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；

. 最大可用于12寸以内样品测试;

.探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；

. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；

. 满足1um以上电极/PAD使用;

. 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;

. 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计;

. 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；

. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。

模块介绍

精密型基础测试探针台图片

详细模块配置及参数说明

选型表

相关配件

多种精度，多种夹具类型探针座

同轴线缆，三同轴线缆

各种类型探针

真空泵

电学测试夹具

电磁屏蔽箱

应用领域

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套谱量光电 精密型基础测试探针台，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。