谱量光电·探针台附件整体介绍

探针台附件是帮助探针台完成相关测试的一些核心部件或者辅助工具，目前谱量光电探针台相关的附件有，多种精度多种夹具类型的探针座，多种类型测试探针，同轴三同轴线缆，真空泵，电磁屏蔽箱等

探针座系列

探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，谱量光电在售的探针座从调节精度来说可分为10μm/3μm/1μm/0.7μm/0.5μm等，根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等。

目前谱量光电的探针座主要分为通用型探针座（10μm、3μm、1μm、0.7μm、0.5μm），万向型探针座（10μm、5μm），L 型探针座（10μm），此外还有 0.7μm 的射频探针座

探针系列

探针作为探针台的核心部件之一，主要用途是接触连接待测件电极，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从不同应用场景可分为钨钢探针、钨钢镀金探针、镀金软针、钨钢角度探针，铍铜探针等

探针选型表

屏蔽箱

电磁屏蔽箱介绍

屏蔽箱是探针台测试的辅助工具，它可以有效屏蔽外界点信号及光线干扰，提高测试精度。我司研发设计的电磁屏蔽箱分上下开合式和左右对开式，匹配我司所有型号探针台产品，内有多个预留口（加热台馈通口、光纤引入口、线缆预留口），方便后期测试模块化集成，带有进口三同轴/同轴馈通件，方便探针座与外部源表连接，外引长度1.5米馈通线缆，不会对测试操作造成任何不便，广泛应用于高精度电学参数测量及暗环境电学参数测量等场景。

屏蔽箱型号

电学测试夹具

电学测试夹具产品介绍

KETF系列电学测试夹具是用于MOS管的接线测试，与Keithley2600系列源表配套使用，改进了LO端和HI端接口不一致问题。该系列夹具由我司自研生产，一端采用美国原装插排，另一端是LO和HI的标准三同轴接口，可与我司探针台三轴公头线缆直接连接，增加LO短接跳线,可以方便的将双通道的两个LO极短接在一起，提高测试精度，是一款方便好用的测试辅件。

电学测试夹具型号

真空泵