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ayumi真空手套箱/气体净化设备校准
ayumi真空手套箱/气体净化设备校准
由于主体和边箱可抽真空,换气速度快,可靠性高。
气体循环净化系统可长期保持高纯度惰性气体环境。
气体循环净化系统安置在手套箱下部,节省空间。
它具有追求可操作性的结构。
该对位设备与邦定设备配套使用。
它对应从简单类型到自动插入和自动对齐的各种需求。
我们还提供超高精度亚微米对准设备。
是阳极键合、共晶键合、玻璃键合、熔接玻璃键合、直接键合、树脂键合、胶键合的批量生产设备。
我们实现了自动化并提高了批量生产率。
我们采用了自己的加热方式,它可以进行快速加热和快速冷却。
它具有可以直接加热基板的结构,并且可以尽可能地减小加热器温度和基板温度之间的差异。
通过使用对准设备可以对应高精度对准。
通过选项,它可以应用通过 PC 进行的配方管理和它是一种提高热粘合设备 TB-60 批量生产率的设备。
通过自动传输,保持键合室空气稳定,提高批量生产率。
对应最大8英寸基板的贴合。
衬底的冷却可以在真空或气体条件下进行。数据记录管理,以及阳极键合功能。