ayumi超高真空全金属阀001

ayumi超高真空全金属阀001

• 1 密封部分采用铜垫片，具有密封边结构。

• 拧紧力矩小。

• 烘烤温度可高达 350°C。

• 可在10-8Pa以下的真空度下使用。

• 可以更换光盘。

• 在半导体开发/制造过程中，去除颗粒、水分和氧气等干扰因素是一个主要问题。我们的露点计、温湿度计和氧浓度计用于半导体制造、运输和检查等各种过程，以确认消除干扰。也用于除湿空气（干燥空气）的除湿和氮气、氩气、氦气、氢气等的气体纯度测量和管理。相反，一些过程需要高水分含量，在这个过程中进行露点测量以保持水分含量恒定。主要使用以下产品。

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• 水分测量

• (1) 将水分含量控制在极小量（ppb 至 1 位数 ppm）的过程

• 　⇒ TK-100 电容式露点计（氧化铝型），可测量低露点 -100° C (

• 2) 极微量水分 (ppm) 由

• 　⇒ TE-660 露点仪（聚合物型）低露点为

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