Bronkhorst EL-FLOW金属密封气体质量流量计和控制器

高纯度气体应用

Bronkhorst金属密封气体质量流量计和控制器为全金属密封结构，具有高性能、高质量的特点，适合半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量计和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。

l 最小流量范围：0.12…6 mln/min

l 最大流量范围： 1… 50 ln/min

EL-FLOW® 产品具有多气体/多范围功能，为客户（OEM）提供可选的灵活性以及高效率工艺。为方便客户使用，Bronkhorst提供免费且便于操作的配置软件。

特点

l 高准确度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)

l 可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈）

l 电抛光过流部件

l 无尘组装

l 多介质/多范围可调节功能

l 模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接：

l DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS

l 无零飘（不需要零点自动调整电路）

l 高精度、重复性高

Bronkhorst EL-FLOW金属密封气体质量流量计和控制器

EL-FLOW金属密封 F-111CM

金属密封气体质量流量计

l 金属密封结构

l 电抛光接液部件

l 洁净室组装

l 高精度，高重复性

l 多气体/多量程功能（可选）

金属密封气体质量流量计

Bronkhorst®  F-111CM质量流量计为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用而设计。仪表表面光洁度高，采用模块化结构，金属密封，长期密封性好。F-111CM适用于在真空到1500 psig (100 bar)条件下准确测量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之间的流量。

EL-FLOW® 金属密封系列配备数字PC板，提供高精度、高稳定性和快速响应。数字PC板包含测量和控制所需的通用功能。除了标准RS232输出外，仪表还提供模拟I/O信号。可选安装接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW® 金属密封系列设计具有可选的多气体/多量程功能，为OEM客户提供优化的灵活性和工艺效率。

EL-FLOW 金属密封 F-201CM

金属密封气体质量流量控制器

l 金属密封结构

l 电抛光接液部件

l 洁净室组装

l 高精度，高重复性

l 多气体/多量程功能（可选）

l 快速稳定时间 (低至 600 msec)

金属密封气体质量流量控制器

Bronkhorst®  F-201CM质量流量控制器为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用而设计。仪表表面光洁度高，采用模块化结构，金属密封，长期密封性好。F-201CM适用于在真空到1000 psig (64 bar) 条件下准确测量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之间的流量。

EL-FLOW® 金属密封系列配备数字PC板，提供高精度、高稳定性和快速响应。数字PC板包含测量和控制所需的通用功能。除了标准RS232输出外，仪表还提供模拟I/O信号。可选安装接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW® 金属密封系列设计具有可选的多气体/多量程功能，为OEM客户提供优化的灵活性和工艺效率。

金属密封气体质量流量控制器参数：

金属密封气体质量流量计、流量控制器尺寸图：

金属密封气体质量流量计、流量控制器选型表：