INFICON英福康光学等离子体真空计

INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于监测1 x 10^-7至5 mbar的气体类型，并同时测量从1 x 10^-7 mbar到大气的总压力。

Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护，用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。

优势

l 高速检漏，可进行腔体检漏

l 提高生产率和产量

l 寿命长，不烧丝，有气涌保护

l 可承受工艺化学反应

l 智能算法，易于集成

l 设计紧凑，占地面积小

l 可靠、快速启动

典型应用

l 腔体泄漏检查，更快的RoR（上升率）测试

l 泄漏检查，发现气体供应管道的内部泄漏

l 实时终端控制

l 气体类型和浓度控制

INFICON英福康光学等离子体真空计

规格

杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。