INFICON膜厚控制仪-杭州域势科技有限公司

详细介绍

INFICON英福康膜厚控制仪

INFICON SQC-310 系列拥有先进的电子元件、改进的显示屏和非常实惠的价格，为您提供竞争对手薄膜控制器所不具备的功能。您可以选择适合您应用的理想型号：顺序沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。

INFICON英福康膜厚控制仪

功能

l 明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示

l 标准RS-232和USB接口（可选RS-232和以太网接口）

l 通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮，实现简单的设置和操作

l Windows®程序，用于开发、测试和下载过程，并将仪表数据记录到PC上，用于过程分析和质量控制

l 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，分辨率为±0.03 Hz，读数为10个/秒

l 可存储多达100个过程、1,000层、50层薄膜的数据

l 使用单个传感器或多个传感器监测源材料，以提供精确的源分布监测

INFICON英福康膜厚控制仪

规格

SQC-310
测量
QCM 输入	2 (4 可选）
频率范围	可调: 1.0 MHz 最小 6.5 MHz 最高
频率分率 (1)	± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2)	±0.015 Å
频率稳定	± 2 ppm 总, 0 to 50C
测量间隔	0.10 to 1.0 s (可调)
显示速率	0.01 Å/sec
控制
储存	100 过程, 1000 模层, 50 模系
控制输出	2 (4 可选)
信号输出	± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器	8/8 (16/16 可选)
数字输入	5 VDC 非隔离
继电器	SPST 1A, 30V, 2A 最大
接口	标准 RS-232 and USB (RS-232 和Ethernet 选项)
远程控制	选项 (IPN 782-900-017)
显示
类型	1/4 VGA 320 x 240 有源矩阵彩色 LCD
图型	速率、偏差、功率或全屏数字
一般
电源	100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
兼容	CE, RoHS
Windows® 软件	包含
机箱 / 安装	5 1/4” 半机架

(1) 0.25 s测量间隔的分辨率

(2)工具/密度 = 100/1, 基础频率 = 6 MHz, 0.25 s 测量间隔

SQC-310C
测量
QCM 输入	4
频率范围	可调: 1.0 MHz 最小 6.5 MHz 最高
频率分率 (1)	± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2)	±0.015 Å
频率稳定	± 2 ppm 总, 0 to 50C
测量间隔	0.10 to 1.0 s (可调)
显示速率	0.01 Å/sec
控制
储存	100 过程, 1000 模层, 50 模系
控制输出	4
信号输出	± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器	16/16
数字输入	5 VDC 非隔离
继电器	SPST 1A, 30V, 2A 最大
接口	标准 RS-232 and USB (RS-232 和Ethernet 选项)
远程控制	选项 (IPN 782-900-017)
显示
类型	1/4 VGA 320 x 240 有源矩阵彩色 LCD
图型	速率、偏差、功率或全屏数字
一般
电源	100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
兼容	CE, RoHS
Windows® 软件	包含
机箱 / 安装	5 1/4” 半机架

(1) 0.25 s测量间隔的分辨率

(2)工具/密度 = 100/1, 基础频率 = 6 MHz, 0.25 s 测量间隔

INFICON英福康膜厚控制仪

杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。

SQC310	34000元	100 件可售
SQC310C	59000元	100 件可售

产品简介

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常用功能直达