SP1-ULVAC 爱发科现货日本皮拉尼真空计_真空计-深圳市京都玉崎电子有限公司手机版

产品简介

ULVAC 爱发科现货日本皮拉尼真空计
特点
传感器规格：如果不需要压力指示器
・真空计成降低
・控制板空间节省
・配线简化
测定子更换更容易
灯丝使用耐腐蚀材料铂
到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出）
电源电压：24 VDC输入

详细介绍

ULVAC 爱发科现货日本皮拉尼真空计

特点

传感器规格：如果不需要压力指示器
・真空计成降低
・控制板空间节省
・配线简化
测定子更换更容易
灯丝使用耐腐蚀材料铂
到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出）
电源电压：24 VDC输入

用途

用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

规格

类型	传感器单元
模型	SP1
兼容的传感器头	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
准确性	±15%（51Pa～760Pa）
	±30%（10Pa～1000Pa）
	±50%（0.4Pa～3000Pa）
工作温度范围	10～40℃
测量值输出	非线性输出：0至5VDC（最大10V）
设定点 1/2 压力设定调节监视器	非线性输出：0至5VDC（最大10V）
控制输出信号	集电极开路输出，负逻辑
	错误信号
	设定值 1/2
LED显示屏	功率、错误、设定点 1、设定点 2
电源电压	DC24V±2V，90mA（最大）
输入/输出连接器	D-sub-15P（M2.6螺丝）
重量	190克/0.41磅（不包括传感器头）

产品简介

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特点

用途

规格

常用功能直达