ULVAC 爱发科 螺杆型干泵 日本原装

ULVAC 爱发科 螺杆型干泵 日本原装

• 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

• 采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。

• 从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

• 用途

• 半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

• 真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

• 锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

• 医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

• 规格

• 型式		MS120A	MS600A	MS1200A
  最大排气速度 *1	m3/h	115	560	980
  到达压力	Pa	≦0.6	≦0.1
  电源电压		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
  消费电力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
  冷却水量	L/min	>4.0
  Purge gas量 *1	SLM	0~50
  最大水蒸气处理量 *1*3	kg/h	1.5
  噪音值　*1	dB(A)	61	62	64

• 吸气口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
  排气口		KF40
  质量 *4	kg	139	241	264