ULVAC/日本爱发科 品牌
经销商厂商性质
深圳市所在地
ULVAC 爱发科 皮拉尼真空计 原装现货
￥3690
ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计 日本供应
￥3690现货 ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计
￥3690现货 ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计
￥4510
ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计 传感器型
￥5120ULVAC 爱发科 原装 通用型 皮拉尼真空计
￥4960ULVAC 爱发科 日本通用型 皮拉尼真空计
￥3260ULVAC 爱发科 现货 通用型 皮拉尼真空计
￥5260ULVAC 爱发科 通用型 皮拉尼真空计 日本
￥3460现货 ULVAC 爱发科 通用型 皮拉尼真空计
￥4500
ULVAC 爱发科 现货日本 皮拉尼真空计
￥3250
ULVAC 爱发科 皮拉尼真空计 现货原装
￥2150ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵 原装现货
ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵 原装现货
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
| 型号 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 机械增压泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排气速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到达压力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1.0~ 大气压 Pa | ||||||||
| 吸气口 (CE规格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排气口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 质量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 电源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 电流值 | 稳定时 | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷却水一次压力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷却水出入口压差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
