ULVAC/日本爱发科 品牌
经销商厂商性质
深圳市所在地
ULVAC 爱发科 皮拉尼真空计 原装现货
￥3690
ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计 日本供应
￥3690现货 ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计
￥3690现货 ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计
￥4510
ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计 传感器型
￥5120ULVAC 爱发科 原装 通用型 皮拉尼真空计
￥4960ULVAC 爱发科 日本通用型 皮拉尼真空计
￥3260ULVAC 爱发科 现货 通用型 皮拉尼真空计
￥5260ULVAC 爱发科 通用型 皮拉尼真空计 日本
￥3460现货 ULVAC 爱发科 通用型 皮拉尼真空计
￥4500
ULVAC 爱发科 现货日本 皮拉尼真空计
￥3250
ULVAC 爱发科 皮拉尼真空计 现货原装
￥2150ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵 现货 日本
ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵 现货 日本
低温区域均热化（LR系列）
在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）
缩短备料下料室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）
| 型号 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排气速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到达压力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） | 大气压 | |||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1~ 大气压 Pa | |||||
| 吸气口 (CE规格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排气口 | KF40 | VG50 | ||||
| 质量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 电源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
